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OX400低濃度(ppm)氧化鋯氧分析儀

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OX400氧濃度分析儀是橫河電機(jī)基于長(zhǎng)期積累的經(jīng)驗(yàn)和優(yōu)秀業(yè)績(jī)研發(fā)而成的新機(jī)型。


氧化鋯傳感器采用了新型薄膜沉積專(zhuān)有技術(shù),在氧化鋯元素和鉑層間建立了分子聯(lián)接。這不僅預(yù)防剝離,還可以減小傳感器尺寸,確?焖夙憫(yīng)和長(zhǎng)壽命。


OX400可用于各種半導(dǎo)體應(yīng)用的控制和監(jiān)測(cè)、環(huán)境控制、惰性氣體泄漏檢查及其他工藝。

  • 用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐和烘干爐,以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制。

  • 用于錫焊爐氣流和回流焊爐,以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產(chǎn)工藝中的氧氣濃度控制。

  • 測(cè)量氧氣濃度,防止粉料運(yùn)輸中粉塵爆炸。




GS11M12D01-01E.pdf


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